Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т.. Т. 2/Н. В. Василенко, Е. Н. Иванов, Л. К. Ковалев ; ред. : Л. К. Ковалев, Н. В. Василенко
| Главные авторы: | , , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Красноярск:
Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии
1996
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |