Василенко, Н. В. Н. В., Иванов, Е. Н. Е. Н., & Ковалев, Л. К. Л. К. (1996). Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т. Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии.
Chicago Style (17th ed.) CitationВасиленко, Н. В. Николай Васильевич, Е. Н. Евгений Николаевич Иванов, and Л. К. Лев Кузьмич Ковалев. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т. Красноярск: Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии, 1996.
MLA (8th ed.) CitationВасиленко, Н. В. Николай Васильевич, et al. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства изделий электронной техники: Учебник для вузов: В 2 т. Книжное издательство Сибирской аэрокосмической академии, 1996.