Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов: Пер. с англ./
| Главные авторы: | , , , , |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Радио и связь
1984
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 336 с. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 316-328 |