Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия: научное издание/

Bibliographic Details
Main Authors:	Лапидус, И. И. Илья Иосифович (Author), Орион, Б. В. Борис Валентинович (Author), Кожитов, Л. В. Лев Васильевич (Author), Аникин, В. К. Виктор Константинович (Author), Скворцов, И. М. Игорь Михайлович (Author)
Format:	Book
Published:	М.: Энергия 1978
Subjects:	технология кремний германий газовая эпитаксия
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Description
Physical Description:	133[3] с.: а-ил
Bibliography:	Библиогр.: с. 129-134

Similar Items