Технология и аппаратура газовой эпитаксии кремния и германия: научное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы: Лапидус, И. И. Илья Иосифович (Автор), Орион, Б. В. Борис Валентинович (Автор), Кожитов, Л. В. Лев Васильевич (Автор), Аникин, В. К. Виктор Константинович (Автор), Скворцов, И. М. Игорь Михайлович (Автор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Энергия 1978
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы