Проблемы линейных измерений микрообъектов в нанометровом и субмикронном диапазонах/
| Corporate Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
М.:
Наука
1995
|
| Series: | Труды ИОФАН;
Т.49 |
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 165 с. |
|---|