Исследование закономерностей роста и электрофизических свойств пленок нитрида алюминия и МДМ структур на их основе: диссертация на соиск. ученой степ. канд. физ.-мат. наук/

Bibliographic Details
Main Author:	Славников , В. С. (Author)
Corporate Author:	Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Томский институт радиоэлектроники и электронной техники
Other Authors:	Преснов, В. А., Трубицын Александр Михайлович
Format:	Book
Published:	Томск: ТИРиЭТ 1971
Subjects:	тонкие пленки полупроводниковая электроника пленочная электроника диэлектрики реактивное распыление микроэлектроника диссертации МДМ структуры
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items