Исследование закономерностей роста и электрофизических свойств пленок нитрида алюминия и МДМ структур на их основе: диссертация на соиск. ученой степ. канд. физ.-мат. наук/

Библиографическая информация
Главный автор: Славников , В. С. (Автор)
Соавтор: Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Томский институт радиоэлектроники и электронной техники
Другие авторы: Преснов, В. А., Трубицын Александр Михайлович
Формат: Книга
Публикация: Томск: ТИРиЭТ 1971
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР