Исследование закономерностей роста и электрофизических свойств пленок нитрида алюминия и МДМ структур на их основе: диссертация на соиск. ученой степ. канд. физ.-мат. наук/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
ТИРиЭТ
1971
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
