Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./

Bibliographic Details
Main Author:	Смирнова, К. И. (Author)
Corporate Author:	Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Other Authors:	Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович
Format:	Book
Published:	Томск 1971
Subjects:	нитриды кремния ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ ДИССЕРТАЦИИ нанесение покрытий ионное осаждение кремний ПЛЕНКИ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items