Смирнова, К. И., & Воробьев, Г. А. Г. А. (1971). Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук.
Chicago-стиль цитированияСмирнова, К. И., and Г. А. Григорий Абрамович Воробьев. Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Томск, 1971.
MLA-цитированиеСмирнова, К. И., and Г. А. Григорий Абрамович Воробьев. Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 1971.
Предупреждение: эти цитирования не могут быть точны на 100%.