APA (7th ed.) Citation

Смирнова, К. И., & Воробьев, Г. А. Г. А. (1971). Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Смирнова, К. И., and Г. А. Григорий Абрамович Воробьев. Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Томск, 1971.

MLA (8th ed.) Citation

Смирнова, К. И., and Г. А. Григорий Абрамович Воробьев. Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 1971.