Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./

Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./

Bibliographic Details
Main Author: Смирнова, К. И. (Author)
Corporate Author: Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Other Authors: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович
Format: Book
Published: Томск 1971
Subjects:
нитриды кремния
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
ДИССЕРТАЦИИ
нанесение покрытий
ионное осаждение
кремний
ПЛЕНКИ
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:126 с.: a-ил
Bibliography:Библиогр.: с. 117-126

Similar Items