|
|
|
|
| LEADER |
02119nam a2200289 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000026578 |
| 008 |
060815s1971 ru_az l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Смирнова, К. И.
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния:
|b диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./
|c К. И. Смирнова; Науч.рук. Г. А. Воробьев; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 1971
|
| 300 |
|
|
|a 126 с.:
|b a-ил
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 117-126
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a нитриды кремния
|
| 653 |
0 |
|
|a ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ
|
| 653 |
0 |
|
|a ДИССЕРТАЦИИ
|
| 653 |
0 |
|
|a нанесение покрытий
|
| 653 |
0 |
|
|a ионное осаждение
|
| 653 |
0 |
|
|a кремний
|
| 653 |
0 |
|
|a ПЛЕНКИ
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.7
|i С506
|p 277914
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.7
|i С506
|p 277915
|b сбо
|
| 080 |
|
|
|a 621.793.184:546.28(043.3)
|
| 700 |
1 |
|
|a Воробьев, Г. А.
|q Григорий Абрамович
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21
|a Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.7/С506-502516
|
