Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./

Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./

Библиографическая информация
Главный автор:	Смирнова, К. И. (Автор)
Соавтор:	Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Другие авторы:	Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович
Формат:	Книга
Публикация:	Томск 1971
Предметы:	нитриды кремния ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ ДИССЕРТАЦИИ нанесение покрытий ионное осаждение кремний ПЛЕНКИ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
по: Бурдовицын, В. А. Виктор Алексеевич
Публикация: (1981)

Фундаментальные основы процессов химического осаждения пленок и структур для наноэлектроники
Публикация: (2013)

Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
по: Аверин, Игорь Александрович
Публикация: (2009)

Моделирование процесса осаждения частиц на поверхности подложки методом решеточных уравнений Больцмана
по: Сайфуллин, Эльмир Равильевич

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2000)

Исследование процессов получения металлических пленок методом электрохимического осаждения: руководство к лабораторной работе/
по: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович
Публикация: (2006)

Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W-БСС-Si: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11/
по: Щерб, С. Ш.
Публикация: (1973)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
по: Акуленок, М. В. Марина Викторовна, et al.
Публикация: (2011)

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
по: Киреев, Валерий Юрьевич
Публикация: (2006)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Публикация: (2010)

Комплексная модификация поверхности материалов интенсивными потоками заряженных частиц

Effect of short-pulsed ion irradiation on the optical and electrical properties of titanium nitride films deposited by reactive magnetron sputtering

Формирование a-C:H:SiOx плёнок методом плазмохимического осаждения автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.04
по: Гренадёров, А. С.
Публикация: (2018)

Электропроводность и деградационные процессы в формованной тонкопленочной структуре металл-диэлектрик-металл на основе оксинитрида кремния диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : 01.04.10
по: Лубсанов, Ринчин Балданович
Публикация: (1986)

Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
по: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, et al.
Публикация: (1969)

Электропроводность тонких диэлектрических пленок: Учебное пособие/
по: Кунин, В. Я. Вадим Яковлевич, et al.
Публикация: (1981)

Пробой тонких диэлектрических пленок: научное издание/
по: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, et al.
Публикация: (1977)

Оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Литвинова, В. А. Виктория Александровна
Публикация: (2010)

Оптические свойства наноразмерных стекловидных пленок оксидов кремния и тантала: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Литвинова, В. А. Виктория Александровна
Публикация: (2010)

Получение и свойства наноструктурированных композитных пленок на основе двойных оксидов кремния и d-металлов (Mn, Fe, Co, Ni)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
по: Апокин, Игорь Алексеевич
Публикация: (1966)

Применение метода решеточных уравнений Больцмана в задачах осаждения ионов в камере в условиях магнетронного напыления покрытий с ионным ассистированием
по: Сайфуллин, Эльмир Равильевич

Методы контроля макродефектов диэлектрических покрытий (По данным отечественной и зарубежной печати за 1970-1982 гг. )
Публикация: (1983)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
по: Берлин, Евгений Владимирович
Публикация: (2014)

Разработка и исследование пучково-плазменных методов повышения эксплуатационных свойств изделий из металлических материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 01.04.07/
по: Уемура, К. Кензуке
Публикация: (2011)

Исследование особенностей низкотемпературного осаждения углеродных покрытий на поверхность пленок пермаллоя в нормальных условиях при взаимодействии с ароматическими сольвентами

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/
по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Публикация: (1989)

Оборудование цехов электрохимических покрытий: учебник для техникумов/
по: Вайнер, Я. В. Яков Вульфович, et al.
Публикация: (1971)

Квантовая химия в материаловедении. Неметаллические тугоплавкие соединения и неметаллическая керамика
по: Ивановский, Александр Леонидович
Публикация: (2000)

Электрофизические и оптические исследования дефектной структуры методом молекулярно-лучевой эпитаксии пленок CdHgTe

Optical properties of aluminum- and silicon-nitride films and Al-Si-N nanocomposite coatings deposited by reactive magnetron sputtering

Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие/
по: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, et al.
Публикация: (1991)

Электрические явления в тонких пленках (Избранные главы из книги Thin film phenomena): Монография : Пер. с англ./
по: Чопра, К. Л.
Публикация: (1972)

Тонкие пленки и их применение в радиоизмерительной технике
по: Югов, Владимир Алексеевич
Публикация: (1964)

Исследование свойств пленок HfO2, выращенных методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения при разных температурах роста

Анализ гомоэпитаксиального роста тонких пленок кремния на сверхструктурах 1х2 и 2х1 методом дифракции быстрых электронов

Технология СБИС в 2 кн.
Публикация: (1986)

Оптические свойства и морфология композитных пленок СеО2-SiO2
по: Халипова, Ольга Сергеевна

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Широкозонные полупроводники: Учебное пособие для вузов/
по: Шретер Юрий Геогриевич, et al.
Публикация: (2001)