Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук/

Bibliographic Details
Main Author:	Шандра, З. А. (Author)
Corporate Author:	Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Other Authors:	Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, Нахмансон, Р. С.
Format:	Book
Published:	Томск 1972
Subjects:	диэлектрические пленки МДП-структуры МДП-конденсаторы микроэлектроника металл-диэлектрик-полупроводник диссертации
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items