Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск
1972
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 184 с.: a-ил |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с.172- 184 |