Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук/

Библиографическая информация
Главный автор: Шандра, З. А. (Автор)
Соавтор: Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Другие авторы: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, Нахмансон, Р. С.
Формат: Книга
Публикация: Томск 1972
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:184 с.: a-ил
Библиография:Библиогр.: с.172- 184