Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск
1972
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 184 с.: a-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с.172- 184 |
