|
|
|
|
| LEADER |
02135nam a2200277 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000026616 |
| 008 |
060815s1972 ru_az l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Шандра, З. А.
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах:
|b диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук/
|c З. А. Шандра; Науч. рук. Г. А. Воробьев, Науч. рук. Р. С. Нахмансон; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
|
| 260 |
|
|
|a Томск
|c 1972
|
| 300 |
|
|
|a 184 с.:
|b a-ил
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с.172- 184
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a диэлектрические пленки
|
| 653 |
0 |
|
|a МДП-структуры
|
| 653 |
0 |
|
|a МДП-конденсаторы
|
| 653 |
0 |
|
|a микроэлектроника
|
| 653 |
0 |
|
|a металл-диэлектрик-полупроводник
|
| 653 |
0 |
|
|a диссертации
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i Ш221
|p 277970
|b сбо
|
| 080 |
|
|
|a 621.382.049.77(043.3)
|
| 700 |
1 |
|
|a Воробьев, Г. А.
|q Григорий Абрамович
|
| 700 |
1 |
|
|a Нахмансон, Р. С.
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21
|a Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/Ш221-999476
|
