Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W-БСС-Si: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11/

Bibliographic Details
Main Author:	Щерб, С. Ш. (Author)
Corporate Author:	Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР21 Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Other Authors:	Аринштейн Э. А., Столярчук, В. Г. Валентина Георгиевна
Format:	Book
Published:	Томск 1973
Subjects:	МОП-структуры пленки боросиликатного стекла примесно-силикатные пленки окисные пленки диссертации диэлектрические пленки тонкие пленки пленки двуокиси кремния
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items