Перспективные технологии производства СБИС: Учебное пособие/

Перспективные технологии производства СБИС: Учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Author: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author)
Corporate Author: Министерство образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Format: Book
Published: Томск: ТМЦДО 2000
Subjects:
полупроводниковая техника
схемотехника
интегральные схемы
СБИС
учебные пособия
технология производства
травление
ионная имплантация
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items