Перспективные технологии производства СБИС (Технология СБИС): Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/

Bibliographic Details
Main Author: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author)
Corporate Author: Министерство образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Format: Book
Published: Томск: ТУСУР 2002
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР