Перспективные технологии производства СБИС (Технология СБИС): Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/

Библиографическая информация
Главный автор: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор)
Соавтор: Министерство образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Формат: Книга
Публикация: Томск: ТУСУР 2002
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:30 с.: а-ил.
Библиография:Библиогр.: с. 30