Тонкие плёнки в микроэлектронике: (Физика твёрдого тела): Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск:
ТУСУР
2003
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |