|
|
|
|
| LEADER |
03395nam a2200409 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000027826 |
| 008 |
090120s2003 ru_z l000 0yrus d |
| 040 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Смирнова, К. И.
|q Клара Ивановна
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Тонкие плёнки в микроэлектронике: (Физика твёрдого тела):
|b Учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 200100 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения/
|c К. И. Смирнова; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники
|
| 260 |
|
|
|a Томск:
|b ТУСУР
|c 2003
|
| 300 |
|
|
|a 23 с.:
|b z-табл.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 11
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
|
| 653 |
0 |
|
|a МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
|
| 653 |
0 |
|
|a УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a КУРСОВЫЕ РАБОТЫ
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p 294651
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p 401845
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272-1
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272-2
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272-3
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272-4
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272-5
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272-6
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272-7
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272-8
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272-9
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.382
|i С506
|p р/к 2272
|b счз1
|
| 080 |
|
|
|a 378.147.85:621.382.049.77(075.8)
|a 621.382.049.772.1(075.8)
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Министерство образования Российской Федерации21
|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21
|a Кафедра физической электроники
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.382/С506-966203
|
