Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович (Автор), Гарицын, А. Г. Александр Георгиевич (Автор)
Другие авторы:	Валиев, К. А. Камиль Ахметович
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Радио и связь 2001
Серии:	Технология микроэлектроники
Предметы:	ЛАЗЕРЫ лазерные микротехнологии ЭЛЕКТРОНИКА микролитография осаждение пленок травление микроэлектроника интегральные схемы
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы