Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
М.:
Радио и связь
2001
|
| Серии: | Технология микроэлектроники
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 632 с.: a-ил |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 572-614 |
| ISBN: | 5256015893 |