Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/

Bibliographic Details
Main Authors:	Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович (Author), Гарицын, А. Г. Александр Георгиевич (Author)
Other Authors:	Валиев, К. А. Камиль Ахметович
Format:	Book
Published:	М.: Радио и связь 2001
Series:	Технология микроэлектроники
Subjects:	ЛАЗЕРЫ лазерные микротехнологии ЭЛЕКТРОНИКА микролитография осаждение пленок травление микроэлектроника интегральные схемы
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items