Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Bibliographic Details
Main Author:	Рычков Дмитрий Сергеевич (Author)
Corporate Author:	Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете"
Other Authors:	Кривобоков Валерий Павлович
Format:	Book
Published:	Томск 2004
Subjects:	авторефераты магнетронный разряд плазменные магнетроны моделирование магнетронные распылительные системы электроника источники плазмы магнетронные диоды постоянный ток
Online Access:	https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01002667633?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items