Рычков Дмитрий Сергеевич & Кривобоков Валерий Павлович. (2004). Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04.
Chicago-стиль цитированияРычков Дмитрий Сергеевич and Кривобоков Валерий Павлович. Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04. Томск, 2004.
MLA-цитированиеРычков Дмитрий Сергеевич and Кривобоков Валерий Павлович. Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04. 2004.
