Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Похожие документы

• Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
  по: Рычков Дмитрий Сергеевич
  Публикация: (2004)
• Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
  по: Блейхер, Галина Алексеевна
• Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда
• Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
  по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
  Публикация: (2016)
• Гидродинамическая модель катодного слоя магнетронного разряда
  по: Рычков, Д. С.