Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/

Библиографическая информация
Главный автор:	Рычков Дмитрий Сергеевич (Автор)
Соавтор:	Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете"
Другие авторы:	Кривобоков Валерий Павлович
Формат:	Книга
Публикация:	Томск 2004
Предметы:	авторефераты магнетронный разряд плазменные магнетроны моделирование магнетронные распылительные системы электроника источники плазмы магнетронные диоды постоянный ток
Online-ссылка:	https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01002667633?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04/
по: Рычков Дмитрий Сергеевич
Публикация: (2004)

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
по: Блейхер, Галина Алексеевна

Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Гидродинамическая модель катодного слоя магнетронного разряда
по: Рычков, Д. С.

Voluminous high-density plasma generator based on high-current pulsed magnetron discharge

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Релятивистские магнетронные СВЧ-генераторы
по: Винтизенко, Игорь Игоревич 1960-
Публикация: (2009)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Технологические установки для эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий на основе источников низкотемпературной плазмы

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Публикация: (2017)

Цилиндрическая магнетронная распылительная система с вращающимся катодом
по: Захаров, А. Н.

СВЧ-приборы со скрещенными полями (патенты США, Великобритании, Франции, ФРГ, Японии за 1965-1975 гг.) : [реферативный обзор]
по: Воробьева, Зоя Михайловна
Публикация: (1976)

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
по: Таран, Владимир Маркович
Публикация: (1987)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Публикация: (2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
по: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Публикация: (2022)

Свойства магнетронного разряда низкого давления в условиях инициирования пучком ускоренных ионов эмиссионных процессов на электродах разряда

Паненты Великобритании по СВЧ приборам со скрещенными полями
по: Воробьева, Зоя Михайловна
Публикация: (1969)

Изнашивание магнетронных покрытий на основе системы Cu-Mo-S в условиях приложения электрического тока
по: Жарков, Станислав Юрьевич

Расчет магнитного поля и положения дорожки травления в магнетронной распылительной системе
по: Ячный, Андрей Павлович

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2013)

Ионно-плазменные технологии формирования покрытий и модификации поверхностей учебное пособие
Публикация: (2014)

Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Изготовление, модифицирование и исследование материалов биомедицинского назначения сборник методических указаний
Публикация: (2022)

Моделирование процессов в разрядной ячейке источника атомарного водорода на основе отражательно-магнетронного разряда с самонакаливающимся катодом
по: Зюлькова, Лариса Александровна

Генераторы и усилители колебаний радиочастот: научное издание/
по: Денисов, И. Д. Иван Дмитриевич
Публикация: (1963)

Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Баинов, Д. Д. специалист в области плазменных технологий научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1978-
Публикация: (2013)

Магнетронные передатчики
по: Бычков, Сергей Иванович
Публикация: (1955)

Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Баинов, Д. Д. специалист в области плазменных технологий научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1978-
Публикация: (2013)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Баинов, Д. Д. специалист в области плазменных технологий научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1978-
Публикация: (2013)

Вторичная эмиссия атомных частиц при бомбардировке тяжелых d-металлов ионами из азотной плазмы
по: Кузьмичев, Анатолий Иванович доктор техн. наук

Изготовление, модифицирование и исследование материалов биомедицинского назначения сборник методических указаний
Публикация: (2022)