Пропуск в контексте
  • Язык
    • English
    • Русский

Расширенный поиск
  • Микроструктурирование тонких п...
  • Цитировать
  • Печать
  • Запись для экспорта
    • Экспорт в RefWorks
    • Экспорт в EndNoteWeb
    • Экспорт в EndNote
  • Permanent link
Микроструктурирование тонких пленок: Сборник/

Микроструктурирование тонких пленок: Сборник/

Библиографическая информация
Соавтор: Академия наук СССР21 Физико-технологический институт
Другие авторы: Орликовский, А. А. (Редактор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Наука 1991
Серии:Труды ФТИАН/Гл. ред. К. А. Валиев; Т. 2
Предметы:
микроструктурирование
тонкие пленки
микролитография
интегральные микросхемы
производство
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
  • Фонды
  • Описание
  • Похожие документы
  • Marc-запись

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

  • Микроструктурирование тонких пленок
    Публикация: (1991)
  • Тонкопленочная технология: Пер. с англ./
    по: Берри, Р., et al.
    Публикация: (1972)
  • Микроструктурирование кремнийорганических лакокрасочных суспензий в присутствии эфироамида фосфористой кислоты
    по: Тюканько, В. Ю.
  • Вакуумная техника в производстве интегральных схем: /
    по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
    Публикация: (1972)
  • Технология тонкопленочных микросхем: Учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна
    Публикация: (2007)
|   Расширенный поиск   |   Советы для поиска   |

Большой университет Томска
https://university-tomsk.ru/
Загрузка...