Skip to content
  • Language
    • English
    • Русский

Advanced
  • Микроструктурирование тонких п...
  • Cite this
  • Print
  • Export Record
    • Export to RefWorks
    • Export to EndNoteWeb
    • Export to EndNote
  • Permanent link
Микроструктурирование тонких пленок: Сборник/

Микроструктурирование тонких пленок: Сборник/

Bibliographic Details
Corporate Author: Академия наук СССР21 Физико-технологический институт
Other Authors: Орликовский, А. А. (Editor)
Format: Book
Published: М.: Наука 1991
Series:Труды ФТИАН/Гл. ред. К. А. Валиев; Т. 2
Subjects:
микроструктурирование
тонкие пленки
микролитография
интегральные микросхемы
производство
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
  • Holdings
  • Description
  • Similar Items
  • Staff View

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

  • Микроструктурирование тонких пленок
    Published: (1991)
  • Микроструктурирование кремнийорганических лакокрасочных суспензий в присутствии эфироамида фосфористой кислоты
    by: Тюканько, В. Ю.
  • Тонкопленочная технология: Пер. с англ./
    by: Берри, Р., et al.
    Published: (1972)
  • Вакуумная техника в производстве интегральных схем: /
    by: Данилин, Б. С. Борис Степанович
    Published: (1972)
  • Технология тонкопленочных микросхем: Учебное пособие/
    by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна
    Published: (2007)
|   Advanced Search   |   Search Tips   |

Большой университет Томска
https://university-tomsk.ru/
Loading...