Микроструктурирование тонких пленок: Сборник/

Библиографическая информация
Соавтор: Академия наук СССР21 Физико-технологический институт
Другие авторы: Орликовский, А. А. (Редактор)
Формат: Книга
Публикация: М.: Наука 1991
Серии:Труды ФТИАН/Гл. ред. К. А. Валиев; Т. 2
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:110[2] с.: а-ил.
Библиография:Библиогр. в конце ст.
ISBN:5020068179