Микроструктурирование тонких пленок: Сборник/

Микроструктурирование тонких пленок: Сборник/

Библиографическая информация
Соавтор:	Академия наук СССР21 Физико-технологический институт
Другие авторы:	Орликовский, А. А. (Редактор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Наука 1991
Серии:	Труды ФТИАН/Гл. ред. К. А. Валиев; Т. 2
Предметы:	микроструктурирование тонкие пленки микролитография интегральные микросхемы производство
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Микроструктурирование тонких пленок
Публикация: (1991)

Микроструктурирование кремнийорганических лакокрасочных суспензий в присутствии эфироамида фосфористой кислоты
по: Тюканько, В. Ю.

Тонкопленочная технология: Пер. с англ./
по: Берри, Р., et al.
Публикация: (1972)

Вакуумная техника в производстве интегральных схем: /
по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Публикация: (1972)

Технология тонкопленочных микросхем: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна
Публикация: (2007)

Технология тонкопленочных микросхем: Учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна
Публикация: (2006)

Катодный метод создания пленочных элементов микросхем: /
по: Иванов, Р. Д. Роберт Дмитриевич
Публикация: (1972)

Технология тонкопленочных микросхем: Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2007)

Гибридные интегральные микросхемы: Учебное пособие для втузов/
по: Коледов Леонид Александрович, et al.
Публикация: (1987)

Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч.: Пер. с англ./
по: Моро, Уэйн
Публикация: (1990)

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/
по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Публикация: (1989)

Коагуляция и динамика тонких пленок
по: Духин, Станислав Самуилович
Публикация: (1986)

Получение и свойства тонких пленок: Сборник научных трудов/
Публикация: (1982)

Основы пленочной технологии и размерной обработки тонких пленок: Текст лекций/
по: Горин, Ю. Н. Юрий Николаевич, et al.
Публикация: (1985)

Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
по: Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович, et al.
Публикация: (2001)

Вакуумное нанесение тонких пленок/
по: Данилин, Б. С. Борис Степанович
Публикация: (1967)

Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике
Публикация: (1972)

Технология тонких пленок справочник : [В 2 т. ]
Публикация: (1977)

Пробой тонких диэлектрических пленок: научное издание/
по: Воробьев, Г. А. Григорий Абрамович, et al.
Публикация: (1977)

Электропроводность тонких диэлектрических пленок: Учебное пособие/
по: Кунин, В. Я. Вадим Яковлевич, et al.
Публикация: (1981)

Технология и конструирование интегральных микросхем: Учебное пособие для вузов/
по: Березин Андрей Сергеевич, et al.
Публикация: (1992)

Технология тонких пленок cправочник : [В 2 т. ]
Публикация: (1977)

Пленочная микроэлектроника/
по: Холлэнд, Л., et al.
Публикация: (1968)

Пластическая деформация тонких пленок Ti
по: Бурков, Ю. Г.

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: сборник статей/
по: Бернинг, П. Х., et al.
Публикация: (1967)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: сборник статей/
по: Берри, Р. У., et al.
Публикация: (1967)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: сборник статей/
по: Берндт, К. Г., et al.
Публикация: (1968)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: Сборник статей: Пер. с англ./
по: Коссель, Д., et al.
Публикация: (1972)

Физика субмикронной литографии: научное издание/
по: Валиев Камиль Ахметович
Публикация: (1990)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: пер с англ./
Публикация: (1973)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: Пер. с англ./
Публикация: (1978)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: Пер. с англ./
Публикация: (1977)

Технология и автоматизация производства электронных приборов и устройств: Учебное пособие/
по: Орликов, Леонид Николаевич
Публикация: (2000)

Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
по: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, et al.
Публикация: (1969)

Электронно-лучевой метод получения тонких пленок из химических соединений/
по: Вишняков, Б. А. Борис Александрович, et al.
Публикация: (1970)

Химические методы получения тонких прозрачных пленок
по: Суйковская, Нина Владимировна
Публикация: (1971)

Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения: сборник статей/
по: Беннет, Дж. М., et al.
Публикация: (1970)

Коробление и морщины тонких пленок и мембран

Microlithography. Molecular imprinting
Публикация: (2005)

Фрактальный анализ поверхностей тонких пленок
по: Панин, Алексей Викторович