Процессы и установки электронно-ионной технологии: учебное пособие для вузов/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Попов, В. Ф. Владимир Федорович (Автор), Горин, Ю. Н. Юрий Николаевич (Автор)
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Высшая школа 1988
Предметы:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ РАСПЫЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы