Сазонов, А. А. А. А., Корнилов, Р. В. Р. В., Кохан, Н. П. Н. П., Лукичев, А. Ю. А. Ю., Осокин, В. И. В. И., Таран, В. А. В. А., & Федукин , В. А. В. А. (1991). Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. Высшая школа.
Chicago Style (17th ed.) CitationСазонов, А. А. Александр Афанасьевич, Р. В. Ростислав Васильевич Корнилов, Н. П. Николай Петрович Кохан, А. Ю. Александр Юльевич Лукичев, В. И. Вячеслав Иванович Осокин, В. А. Валентин Анатольевич Таран, and В. А. Владимир Александрович Федукин. Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. М.: Высшая школа, 1991.
MLA (8th ed.) CitationСазонов, А. А. Александр Афанасьевич, et al. Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. Высшая школа, 1991.
