Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов/

Bibliographic Details
Main Authors:	Сазонов, А. А. Александр Афанасьевич (Editor), Корнилов, Р. В. Ростислав Васильевич (Author), Кохан, Н. П. Николай Петрович (Author), Лукичев, А. Ю. Александр Юльевич (Author), Осокин, В. И. Вячеслав Иванович (Author), Таран, В. А. Валентин Анатольевич (Author), Федукин , В. А. Владимир Александрович (Author)
Format:	Book
Published:	М.: Высшая школа 1991
Subjects:	микроэлектроника АСУТП учебные пособия
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items