Сазонов, А. А. А. А., Корнилов, Р. В. Р. В., Кохан, Н. П. Н. П., Лукичев, А. Ю. А. Ю., Осокин, В. И. В. И., Таран, В. А. В. А., & Федукин , В. А. В. А. (1991). Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. Высшая школа.
Chicago-стиль цитированияСазонов, А. А. Александр Афанасьевич, Р. В. Ростислав Васильевич Корнилов, Н. П. Николай Петрович Кохан, А. Ю. Александр Юльевич Лукичев, В. И. Вячеслав Иванович Осокин, В. А. Валентин Анатольевич Таран, and В. А. Владимир Александрович Федукин. Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. М.: Высшая школа, 1991.
MLA-цитированиеСазонов, А. А. Александр Афанасьевич, et al. Автоматизация технологического оборудования микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. Высшая школа, 1991.
