Микролитография: Принципы, методы, материалы: В 2 ч.: Пер. с англ./ Ч. 1

Библиографическая информация
Главный автор:	Моро, Уэйн (Автор)
Другие авторы:	Моро, У. Уэйнaut, Тимеров, Р. Х.
Формат:	Книга
Публикация:	М.: Мир 1990
Предметы:	микролитография фоторезисты радиационные резисты резистные пленки фотолитография радиационное экспонирование
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы