Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Author), Илюшин, В. А. Владимир Александрович (Author), Величко, А. А. Александр Андреевич (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)
Format:	Book
Published:	Томск: ТУСУР 2005
Subjects:	ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ ДИФФУЗИЯ ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК МЕТАЛЛИЗАЦИИ ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА ЛИТОГРАФИЯ ТРАВЛЕНИЕ ЭПИТАКСИЛЬНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items