Пропуск в контексте
  • Язык
    • English
    • Русский

Расширенный поиск
  • Процессы микро- и нанотехнолог...
  • Цитировать
  • Печать
  • Запись для экспорта
    • Экспорт в RefWorks
    • Экспорт в EndNoteWeb
    • Экспорт в EndNote
  • Permanent link
Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/

Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/

Библиографическая информация
Главные авторы: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор), Илюшин, В. А. Владимир Александрович (Автор), Величко, А. А. Александр Андреевич (Автор)
Соавтор: Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)
Формат: Книга
Публикация: Томск: ТУСУР 2005
Предметы:
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ
ДИФФУЗИЯ
ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ
ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК
МЕТАЛЛИЗАЦИИ
ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА
ЛИТОГРАФИЯ
ТРАВЛЕНИЕ
ЭПИТАКСИЛЬНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ
ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
  • Фонды
  • Описание
  • Похожие документы
  • Marc-запись

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

  • Технология СБИС: Учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2007)
  • Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2020)
  • Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2015)
  • Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И., et al.
    Публикация: (2010)
  • Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2011)
|   Расширенный поиск   |   Советы для поиска   |

Большой университет Томска
https://university-tomsk.ru/
Загрузка...