Вакуумное нанесение тонких пленок/
| Main Author: | Данилин, Б. С. Борис Степанович (Author) |
|---|---|
| Other Authors: | Нилендер, Р. А. (Editor) |
| Format: | Book |
| Published: |
М.:
Энергия
1967
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Similar Items
-
Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
by: Аверин, Игорь Александрович
Published: (2009) -
Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок: справочное издание/
by: Блинов, И. Г. Иван Григорьевич, et al.
Published: (1969) -
Формирование наноразмерных T-образных затворов с использованием метода направленного углового напыления тонких пленок алюминия
by: Кулинич, Иван Владимирович - Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства
-
Структурные свойства тонких пленок GaAs1−yNy, полученных методом импульсного лазерного напыления
by: Девицкий, Олег Васильевич
