Катодное распыление: монография/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
М.:
Атомиздат
1968
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 343[1] с.: a-рис. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 297-334. - Предм. указ.: с. 335-341 |