Физика микросистем: Учебное пособие для вузов/ Ч. 1

Bibliographic Details
Main Author:	Гридчин, Виктор Алексеевич (Author)
Other Authors:	Гридчин, В. А. Виктор Алексеевичaut, Драгунов, В. П. Валерий Павловичaut
Format:	Book
Published:	Новосибирск: НГТУ 2004
Series:	Учебники НГТУ
Subjects:	микросистемы учебные пособия физические основы кремниевые микросистемы микроэлектроника микромеханические системы напряжения деформации тензорезистивность монокристаллический кремний сенсоры проектирование тензопреобразователи упругие элементы
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items