Физика микросистем: Учебное пособие для вузов/ Ч. 1

Библиографическая информация
Главный автор:	Гридчин, Виктор Алексеевич (Автор)
Другие авторы:	Гридчин, В. А. Виктор Алексеевичaut, Драгунов, В. П. Валерий Павловичaut
Формат:	Книга
Публикация:	Новосибирск: НГТУ 2004
Серии:	Учебники НГТУ
Предметы:	микросистемы учебные пособия физические основы кремниевые микросистемы микроэлектроника микромеханические системы напряжения деформации тензорезистивность монокристаллический кремний сенсоры проектирование тензопреобразователи упругие элементы
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы