Технологические процессы микроэлектроники. Технология ЭВС-1: учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Author)
Corporate Author:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Format:	Book
Published:	Томск: ТМЦДО 2005
Subjects:	учебные пособия микроэлектроника интегральные микросхемы пленочная электроника тонкопленочные интегральные микросхемы полупроводниковые микросхемы легирование полупроводников диэлектрические пленки
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items