Технологические процессы микроэлектроники. Технология ЭВС-1: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Смирнова, К. И. Клара Ивановна (Автор)
Соавтор:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 Кафедра физической электроники
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: ТМЦДО 2005
Предметы:	учебные пособия микроэлектроника интегральные микросхемы пленочная электроника тонкопленочные интегральные микросхемы полупроводниковые микросхемы легирование полупроводников диэлектрические пленки
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Описание
Объем:	223 с.: a-ил.
Библиография:	Библиогр.: с. 220

Похожие документы