Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок/

Bibliographic Details
Main Author: Данилин, Б. С. Борис Степанович (Author)
Format: Book
Published: М.: Энергоатомиздат 1989
Subjects:
плазма
низкотемпературная плазма
тонкие пленки
нанесение тонких пленок
интегральные схемы
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items