Физико-химические основы технологии электронных систем: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главный автор:	Чикин, Е. В. Евгений Владимирович (Автор)
Соавтор:	Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)21 Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: ТМЦДО 2006
Предметы:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ ДИСТАНЦИОННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ ТРАВЛЕНИЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА ФОТОЛИТОГРАФИЯ ЛИТОГРАФИЯ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы