Физико-химические основы технологии электронных систем: учебное пособие/

Физико-химические основы технологии электронных систем: учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Author: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович (Author)
Corporate Author: Федеральное агентство по образованию21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)21 Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга
Format: Book
Published: Томск: ТМЦДО 2006
Subjects:
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
ДИСТАНЦИОННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ
ПОЛУПРОВОДНИКИ
ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ
ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ
ТРАВЛЕНИЕ
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК
ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
ЛИТОГРАФИЯ
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:209 с.: a-ил.
Bibliography:Библиогр.: с. 208-209

Similar Items