Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии/

Bibliographic Details
Main Authors:	Комаров, Ф. Ф. Фадей Фадеевич (Author), Новиков, А. П. Александр Петрович (Author), Соловьев, В. С. Валерий Сергеевич (Author), Ширяев, С. Ю. Сергей Юрьевич (Author)
Format:	Book
Published:	Минск: Университетское 1990
Subjects:	дефекты ионно-имплантированный кремний ионная имплантация полупроводниковые материалы
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items